高周波半導体材料 デバイスの新展開

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エレクトロニクス材料・技術シリーズ 佐野芳明 奥村次徳 シーエムシー出版コウシュウハ ハンドウタイ ザイリョウ デバイス ノ シンテンカイ サノ,ヨシアキ オクムラ,ツグノリ 発行年月：2006年11月 ページ数：266p サイズ：単行本 ISBN：9784882315827 佐野芳明（サノヨシアキ） 沖電気工業（株）研究開発本部主幹研究員 奥村次徳（オクムラツグノリ） 首都大学東京大学院理工学研究科電気電子工学専攻教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 展望　高周波利用のゆくえ、デバイスの位置づけ（高周波半導体材料の変遷／デバイスおよび回路設計技術の展望）／第1編　化合物半導体基板技術（GaAs基板／SiC基板／新材料系基盤）／第2編　結晶成長技術（3ーV族化合物成長技術／3ーN化合物成長技術／Smart　Cut　TMによるウェーハ貼り合わせ技術）／第3編　デバイス技術（3ーV族系デバイス／3族窒化物系デバイス／シリコン系デバイス／テラヘルツ波半導体デバイス） 最先端の技術開発を担う多数の研究者の協力を得て、材料技術からデバイス作製技術までの最新動向を一冊にまとめ、第一線、及び関連の研究者、技術者への便宜を図ることを本書の狙い...